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硅片甩干機(jī)技術(shù)知識(shí)科普

點(diǎn)擊次數(shù):1709  更新時(shí)間:2023-03-15
   硅片甩干機(jī)技術(shù)知識(shí)科普
  硅片甩干機(jī)是半導(dǎo)體工廠中一個(gè)非常重要的設(shè)備,它主要用于對(duì)硅片進(jìn)行甩干處理。在半導(dǎo)體工業(yè)中,硅片是一種非常關(guān)鍵的材料,它用于制造集成電路、微處理器、太陽(yáng)能電池等器件。
  甩干硅片的目的是去除水分,保證硅片表面潔凈干燥,以便進(jìn)行后續(xù)的工藝處理。在半導(dǎo)體工業(yè)中,由于硅片對(duì)水分、微粒等雜質(zhì)的敏感性非常高,因此甩干硅片的過程必須嚴(yán)格控制,以確保硅片質(zhì)量。
  工作原理
  硅片甩干機(jī)通過離心力的作用將硅片上的水分甩出,從而使硅片表面達(dá)到干燥的狀態(tài)。硅片甩干機(jī)通常采用空氣刀或者真空吸取的方式移除硅片上的水分。在甩干硅片的過程中,硅片被夾在兩個(gè)旋轉(zhuǎn)的盤中,當(dāng)盤高速旋轉(zhuǎn)時(shí),甩干裝置通過離心力加速水分的甩出,從而使硅片表面干燥。
  關(guān)鍵技術(shù)
  關(guān)鍵技術(shù)包括控制設(shè)備的離心速度、水分吸取效率、真空度以及氣流方向等方面。
  離心速度
  離心速度是關(guān)鍵參數(shù)之一,它決定了甩干裝置對(duì)硅片上的水分的甩出效率。離心速度過慢,水分無(wú)法被甩出,過快則容易對(duì)硅片造成損傷。因此,離心速度的控制非常關(guān)鍵。
  水分吸取效率
  水分吸取效率是指甩干裝置吸取水分的效率。在硅片甩干過程中,過高的水分吸取效率可能會(huì)導(dǎo)致硅片表面失去一些重要的氧化層,影響器件的性能。
  真空度
  硅片甩干機(jī)通過真空負(fù)壓的方式將水分吸取出來,因此真空度是關(guān)鍵參數(shù)之一。真空度越高,水分吸取效率越高,但也會(huì)帶來更高的維護(hù)成本。
  氣流方向
  氣流方向是指硅片甩干機(jī)中甩干裝置產(chǎn)生的氣流的方向,氣流方向必須嚴(yán)格控制,以確保硅片表面不會(huì)受到過高的氣流沖刷,否則容易對(duì)硅片造成損傷。
  總體而言,設(shè)計(jì)和維護(hù)非常關(guān)鍵,需要對(duì)各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行嚴(yán)格控制,以確保硅片表面干燥、潔凈,達(dá)到半導(dǎo)體工藝的要求。
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